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超精密加工机床系统总的发展趋势是要求高的加工表面质量和面形精度，加工尺寸趋于和两个方向，同时要求复杂形面、不同材料的加工适应性等。 检验平板在提高加工表面质量、面形精度方面，一方面继续提高机床的精度、稳定性，另一方面通过加工工艺进步引入复合加工功能等，如在多轴超精密自由曲面磨床上引入进动抛光等准确定性加工功能以提高表面质量和面形精度。 超精加工所能达到的表面质量、面形精度与元件尺寸、形状、材料相关。对于具有复合加工功能的机床，辅以测量技术还可进一步从加工工艺上提高精度。 近年来，太赫兹(THz)作为一门新兴技术得到了广泛重视。太赫兹频谱介于微波与红外之间。太赫兹的性能给反隐身探测、电子对抗、电磁、宽带通信、天文学、医学成像、无损检测、安 全检查等领域带来了深远的影响。太赫兹是未来超精密加工技术与机床广泛和重要的应用领域。 从大的尺度来说，太赫兹应用需求巨大，如太赫兹天线镜面加工需求。 在小的尺度方面，太赫兹系统中的微型波纹喇叭天线(毫米级复杂形状内腔、微米级加工精度)是未来所需解决的超精密加工难题之一。 超精密微机械加工机床的关键技术不在机床自身尺寸。由于运动精度要求，这种机床尺寸不能做得太小，因而其关键技术在于机床结构，如工件的装夹，在位测量、调整、对刀、微型超精密刀具等。 在加工面形的复杂度方面，由于太赫兹波束控制元件表面电磁特性，其设计元件面形复杂，如非对称贝武形自由曲面等。 由于各种条件限制，超精密机床不可能做得太大。对于硬脆材料的超大型应用，如深空望远镜拼接式离轴非球面镜片可用相应尺寸的多轴超精密自由曲面磨床加工解决，但对于太赫兹应用的金属基(如铝基等)相同尺寸或复杂面形元件，这种机床就不适宜。 关于机门的未来趋势，应发展超精密加工机床，实现较大矢高大型赋形复杂曲面零件的加工能力。 在加工材料方面，太赫兹应用 具多样性。 发展超精密加工机床与系统，需突破解决的关键技术包括：高精度、高分辨率、高稳定、大位移坐标测量系统，控制算法(自适应控制、二阶动态无差控制等)的高性能多轴运动控制器及精度环境控制技术等。 铸铁平台研磨过程中应该注意以下几点： 1、要选用好的研磨粉，工作场所要清洁，以免工件表面被刮毛。 2、掌握好研磨的速度和研磨的压力；对准确度高和形状复杂的表面，研磨速度应该低一些。研磨压力大小由工件材料和磨具材料的性质等因素决定的。研磨压力为0.15~0.2MPa时研磨效率较高。 3、研磨时，一般先用较大压力和较低速度进行粗研，几何形状基本合格后，再用较小压力和较高速度精研。 4、选用合适磨具，以免磨具耗损太快。 |
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