Polycold 快速循环水汽深冷泵的原理及架构概念

       Polycold 快速循环水汽深冷泵的原理及架构概念 Polycold 快速循环水汽深冷泵(Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麦斯纳（Meissner）吸收原理。使水汽分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结，从而达到捕集水汽的目的。

A 冷冻机
　　B 冷媒传送管 C 冷冻连接头 D 真空腔壁 E 冷冻界面

　　A 冷冻机 B 冷媒传送管 C 真空控制阀 D 冷冻盘 E 真空帮浦
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