3D压电式样品定位台

      

　　产品特性
　　· 三维压电式样品定位台 · 中心通孔45mm×45mm · 定位精度高 · 运动范围可达X250/Y250/Z100μm · 快速响应
　　闭环定位精度高
　　P12A.XY200Z100系列压电纳米定位台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。
　　带载阶跃时间
　　P12A.XY2Z100带载100g，满行程阶跃时间60ms。

　　技术参数
　　型号：P12A.XY200Z100S
　　运动自由度：XYZ
　　行程范围（0~120V）：XY200/Z80μm
　　行程范围（0~150V）：XY250/Z100μm
　　闭环传感器：SGS
　　闭环分辨率：XY13/Z7nm
　　闭环线性度：XY0.1/Z0.2%F.S.
　　闭环重复定位精度：XY0.05/Z0.1%F.S.
　　空载谐振频率：XY240/Z150Hz
　　承载能力：500g
　　静电电容：XY7.2/Z1.8μF
　　材质：钢、铝