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本文介绍的是气体尘埃粒子计数器的校正所需设备、基本原理已经基本步骤。 一、校正所需设备: 1、100级洁净房或洁净台 2、一台用于作对比,尚在校正期内的尘埃粒子计数器 3、各粒径的标准粒子 4、可产生脱离水(DI水)的纯水系统或类似装置 5、标准粒子气体产生器 6、其它普通电器 二、校正的基本原理: 标准粒子通过255粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,一定要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。 |