微纳操作系统中的微动压电钳

       作为微纳操作系统中的一个末端执行机构，微动夹钳主要完成微小尺寸样品的夹取、搬运、放置与释放。压电钳通过传动机构，将电压转化为钳口的位移输出，通过钳口闭合实现微操作对象的夹持，张开实现微操作对象的释放。
　　芯明天研发生产的微动压电钳是由压电陶瓷叠堆驱动，采用柔性铰链机械放大结构，具有分辨率高、响应速度快、无摩擦等特点。夹持位移可达100微米，是微纳操作系统中的执行器件。
　　特点
　　• 夹持位移达100μm
　　• 亚毫秒级响应时间
　　• 谐振频率达1.5kHz
　　技术参数
　　型号：XD002-D2
　　运动自由度：X
　　行程范围（0~120V）：80μm
　　行程范围（0~150V）：100μm
　　推/拉力：10/1N
　　运动方向刚度：0.04N/μm
　　空载谐振频率：1500Hz
　　空载阶跃时间：0.7ms
　　空载满行程工作频率：300Hz
　　大承载：0.05kg
　　静电容量：0.18μF
　　材质：不锈钢
　　重量：10g
　　驱动控制
　　E53.A压电控制器非常适合驱动XD-002系列微动压电钳，即可保证快速的响应时间，又可保证压电钳的工作稳定性。同时E53系列压电控制器的外形非常紧凑，体积小巧，易于集成。
　　定制版压电钳
　　夹持行程：500μm@150V
　　静电容量：1.6μF
　　空载谐振频率:180Hz
　　材质:钛合金
　　夹持行程：1000μm@150V
　　静电容量：3.4μF
　　空载谐振频率：110Hz
　　材质：钛合金
　　夹持行程：1000μm@150V
　　静电容量：3.6μF
　　空载谐振频率：90Hz
　　重复定位精度：0.5%F.S.
　　位移传感器：有
　　材质：钛合金