激光式位移传感器 - 新世联传感器

       1.15.1所示。图中A为激光器。 它作为光源，产生一沄波长的激光，经透镜组成的准直系统后，投射到分束器C上。一部分透过C入射到反射镜M2并被反射 镜M2反射后，经C再次反射，投射光电接 收器B；另一部分经C反射到反射镜M1再被M1反射后也入射到B上。因而投射到B上的两束光产生干涉，由光电接收器B接收到峰值的干涉条纹，并经B转换为电 脉冲信号。由于M2固定在被测物E上，而E可以左右移动，当E发生移动时，干涉条纹产生位移，光电接收器接收到的光强发生变化，使电脉冲个数发生变化，因此经计数系统计数后，便可知对应的位移变化。图中D为M2的虚像。