蒸发源各个型号的参数和作用

蒸发源各个型号的参数和作用

K-cell蒸发源（EffusionCell/电阻式加热蒸发源）  

K-cell是分子束外延（MBE）中**通用的蒸发源类型，中科艾科米在此基础上发展出了覆盖不同温区的完整系列。  

（1）标准/中温K-cell  

工作温度覆盖650–1400℃（部分配置为400–1400℃），适用于中等蒸气压材料；  

加热方式为钽丝加热，温度稳定性±0.1℃；  

一个突出设计是支持“口朝下”（FaceDown）安装，这对于沸点的1/3小于其熔点的特殊材料（如Se、Te等）尤为适用，可避免材料在出口处冷凝堵塞。  

（2）双灯丝K-cell蒸发源  

属于中温系列（400–1400℃）的增强型号，采用独立的双温区控温，每个温区单独可调，能有效防止材料在出口处冷凝，控温精度同样达到±0.1℃。  

（3）低温K-cell  

专为低蒸气压或热敏感材料设计，工作温度100–400℃（另有50–350℃版本），温度稳定性±0.1℃。主要面向MBE、表面科学、薄膜生长以及II-VI族半导体和太阳能领域的研究。  

从实际科研使用看，K-cell被广泛用于蒸镀Fe、Au、Ag、Se、Te等材料，是表面科学和催化研究中样品制备的基础工具之一。  

特种与专用蒸发源  

针对特定材料体系或实验场景，中科艾科米还提供了多种专用蒸发源：  

碱金属蒸发源：可在单法兰上集成3个独立的碱金属源，兼容Li、Na、K、Rb、Cs（适配SAES源，活性长度12mm），每个源**电流10A，烘烤温度200℃。  

三源有机物蒸发源：集成3个独立控温通道，工作温度50–350℃，温度稳定性±0.1℃，强调良好的热隔绝性以提升UHV系统效率，应用于有机物蒸发镀膜、多源掺杂等场景。  

三温区裂解源：面向As、Se、Sb、Te、Mg等高饱和蒸气压材料，裂解头核心温度**可达1100℃，采用模块化设计和分段式水冷，使团簇在裂解区充分获能，同时坩埚内保持初始温度。  

多坩埚蒸发源：采用可拆卸水冷管设计，法兰、坩埚台与水冷管可分离，更换蒸距时只需更换水冷管，避免了繁琐的整体拆装，增加了使用灵活性。