XY中空式大行程直线压电扫描台

发表于:2025-12-30 20:21:25 185
       特点
  XY二维运动,位移可达187.5μm
  承载能力1kg
  通孔尺寸:60×60mm
  分辨率可达5nm
  可选配闭环传感器
  典型应用
  图像处理与稳定
  扫描显微
  干涉/计量
  表面检测
  晶圆定位
  微操作
  频率负载曲线


  稳定性好 响应速度快
  阶跃时间
  P17.XY200S负载10g达满行程的响应时间约30ms。


  典型应用

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评论列表(3)

谢谢分享,收获很大
2026-1-17 15:03:22 回复
受益匪浅
2026-4-24 08:25:03 回复
有用
2026-4-24 08:57:50 回复