Pfeiffer Vacuum 德国普发于 1958年由 W. Becker 博士研发出涡轮分子泵并获得 为了更好的了解Pfeiffer 涡轮分子泵, 现向您阐述其工作原理: A.涡轮分子泵流程 （1）利用气体分子和高速运动的机件互相碰撞之作用而将气体分子带出系统外气体分子质点碰撞到运动机件的表面，分子质点碰撞反弹后，将会在其原来的热力速度之外获得一部分与机件表面运动方向平行的额外速度，这两个分速度的合成量会造成分子质点在碰撞之后的终速度，也决定分子质点最后方向,如图a所示。
(2）涡轮叶片形状设计, 使原本任意方向运动的气体分子都朝着一个方向而运动, 图b 所示. (3）转子和静子交换排列, 气体分子与高速运动之叶片表面碰撞后, 经由运动转移而形成方向性运动的作用重复产生。每一转子和静子组合形成一压缩级（Compression stage），图c 所示.
（4）而每一压缩级再串联排列时, 就形成涡轮分子泵的架构, 图d 所示。
下图a.b.c.d 为涡轮分子泵原理示意 （a） 气体分子粒与运动机件碰撞后额外速度分量 （b） 涡轮分子泵转子叶片剖面与净气之产生 （c） 转子与静子组合形成压缩级 （d） 组合多数、多层压缩级后形成涡轮分子泵
B.涡轮分子泵如何达到抽气的效果： 在分子流(Molecular flow)的环境下，气体分子的密度甚低，分子平均自由径(Mean free path)相当大，分子可以运
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发表于：2026-7-1 14:57:09
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