电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）

       项目级别 EW-I EW-II 电阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13 硅≤μg/l 2  10 >1μM微粒数≤个/ml 0.1 5  细菌个数≤个/ml 0.01 0.1 铜≤μg/l 0.2 1  锌≤μg/l 0.2 1  镍≤μg/l 0.1 1  钠≤μg/l 0.5 2  钾≤μg/l 0.5 2  氯≤μg/l 1  1  硝酸根≤μg/l 1  1  磷酸根≤μg/l 1  1  硫酸根≤μg/l 1  1  总有机碳≤μg/l 20 100