适于光纤对接调整的六自由度压电纳米定位台

       01
　　什么是六自由度
　　压电纳米定位台？
　　六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。运动如下图所示。（注：θx运动即为以X轴为中心轴的旋转运动。）

　　02
　　六自由度压电定位台应用举例
　　-光纤对接调整

　　03
　　芯明天六自由度
　　压电纳米定位台

　　XD801-D1六自由度定位系统
　　（图左：E51.D7S压电控制器，图右：XD801-D1）
　　技术
　　参数
　　型号：XD801.S-D1闭环、XD801.K-D1开环
　　运动自由度：X、Y、Z、θx、θy、θz
　　XYZ行程范围：6µm@150V
　　θxθyθz轴偏转角度：1mrad@150V
　　传感器类型：SGS
　　闭/开环偏转分辨率：1/0.1μrad
　　闭/开环直线分辨率：2/0.2nm
　　闭环线性度：0.25%F.S.
　　闭环重复定位精度：0.2%F.S.
　　空载谐振频率：约250Hz
　　空载闭环阶跃时间：约25ms
　　承载能力：500g
　　材质：钢、铝
　　重量：660g
　　出线长：1.5m
　　传感/电压连接器：DB15-HD（针）