北方华创磁控溅射ITO薄膜制备设备助力LED产业发展

       北方华创此次携LED领域解决方案盛装出席大会，在半导体装备与智能制造分论坛上，产品总监董博士做了关于《磁控溅射制备的ITO薄膜在LED领域中的开发及应用》的主题演讲，与产业内各领域专家、企业，共商半导体照明产业未来发展之道。
　　NAURA ITO溅射设备采用“RF+DC”的溅射方法，创新的磁场设计、大接地的硬件结构；制备的ITO薄膜致密性好、透过率高、黏附性强；可以有效降低LED芯片Vf，提升芯片亮度和ESD，各项工艺指标均达到了业内水平。同时设备具有结构简单、产能大、占地面积小、维护方便、耗材成本低等特点，受到了LED客户的广泛青睐。目前北方华创已经有数十台ITO溅射设备在客户端稳定量产。
　　 2018年半导体产业迎来巨大的机遇与挑战，技术创新成为我们突出重围的关键。北方华创必将以科技创新为基点，着眼未来，助推产业技术进步，带给产业无限可能。