半导体量检测设备电子源特点介绍

半导体量检测设备电子源简介:
电子源是电子束半导体量检测装备的核心发射器件，作为电子束发生单元，决定设备成像分辨率、束流稳定性、检测通量与连续工作寿命，广泛搭载于 CD-SEM 关键尺寸量测设备、电子束缺陷检测设备（EBI）、晶圆复检 SEM 等半导体检测装备。专为半导体临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）设计。产品兼容日立CG系列、AMAT 6i/7i/G7系列、科磊EDR系列等主流量检测设备机型，出厂前已完成精密预对中，可快速部署、稳定运行。经多家客户，实际装机验证，其电子束亮度与稳定性均已达到进口同类产品水准，是半导体产线设备备件国产化的可靠选择。
半导体量检测设备电子源特点:
专用于半导体量检测设备，适配主流CD-SEM机型；
核心材料采用氧化锆单晶钨，发射性能优异；
规格型号丰富，覆盖不同设备平台需求；
国产自主研发，可高效替代进口产品。