射频探针台产品特点

       12英寸全自动射频探针台设备简介： TS3500和TS3500-SE在功能上与MPI的已建立的TS3000和TS3000-SE 300毫米探针台具有相同的功能，通过配置或升级MPI*的WaferWallet?，可以实现全自动功能。MPI的解决方案通过提供比其他供应商的半自动化产品更少的*自动化功能，降低了客户的总体测试成本。 12英寸全自动射频探针台产品特点： 1.专为多种晶圆测试应用而设计 ●模块量测-DC-IV,DC-CV,Pulse-IV，ESD,1/f。 ●射频、毫米波、射频频率可设置可从26GHz到110GHz或更高。 ●晶圆级可靠性-用于精确的压力和测量条件。 ●lin先的测试执行软件套装的驱动程序。 2.WaferWalletTM操作平台 ●设计有五个单独的托盘，可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆。 ●在多个温度条件下全自动测试可多达五个相同的晶圆。 ●有在任何温度下装载/卸载晶片的*能力。 3.ShielDEnvironment?屏蔽环境 ●专为EMI/RFI/Light-tight屏蔽所设计的精密量测环境，以得到的1/f超低噪测试结果。 ●支援fA ji超低噪IV量测。 ●可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作。 ●具配置弹性的温度可量测范围-60°C至300°C。 4.工效学设计及弹性选配 ●从正面轻松放置晶片或单个DUT。 ●内建防震系统。 ●完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作。 ●安全测试管理系統(Safety Test Management,STM?)选配具自动进行露点控制功能。 ●预留制冷机组空间，节省空间不占位。 ●仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供的量测机能。