双束电子显微镜主流三类介绍

上海瞬景科技有限公司成立于2024年底，量产线位于上海闵行佳通广场紧邻上海交大。瞬景科技的产品广泛应用于高分辨率扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜(TEM)、半导体量检测设备(CD-SEM、 DR-SEM、EBI)、电子束光刻设备(EBL)等，下游覆盖芯片制造、纳米技术、量子计算、新材料研发、航空航天、生命科学、核能等多个战略性新兴产业。
双束电子显微镜（FIB-SEM）是一种集成了聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）的纳米级科学仪器 。该系统由FIB镜筒、SEM镜筒、样品仓及气体注入系统等组成 。其核心在于结合离子束的精确加工与电子束的高分辨率成像能力，实现“边切边看"的实时协同工作模式。双束电镜离子源，特指 FIB 聚焦离子枪的离子源；SEM 一侧是电子源（电子枪，不属于离子源）。
主流三类：Ga 液态金属离子源 LMIS（通用 FIB）、Xe 等离子 PFIB 离子源、He/Ne 气体场离子源 GFIS；另外还有氩离子切割仪 CP 宽束离子源。
双束电镜离子源优势：束斑极小（高分辨率），束流范围 pA~60 nA，适合 TEM 薄样品制备、半导体线路修改、纳米定点加工。

好总结，收了。

能耗表现不错。