压电平台-N12系列

       N12 系列压电扫描台为 1~3 维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程 0.04% 的重复定位精度。
　　特点
　　• 位移 110μm • 承载能力 0.7kg • 台体中心方形通孔 45×45mm • 闭环重复定位精度高 • 开 / 闭环可选
　　1~3维扫描台
　　 N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号,外观相同。
　　典型应用
　　• 扫描显微 • 共焦显微 • 晶圆定位
　　• 表面测量 • 图像处理与稳定 • 半导体测试
　　小体积、大位移、中心通孔
　　N12 系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达 110μm。独特的平行运动学设计原理，使得平台可以实现 XYZ 轴高速精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化OEM系统等。
　　该系列压电扫描台的通光孔为 45×45mm，高刚度。
　　闭环传感定位精度高
　　N12 系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过 PID 算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。
　　N12.XYZ 压电扫描台配套芯明天 E72 系列模块化控制器应用于光学显微成像，实现XYZ 轴精密扫描。

　　闭环定位精度

　　N12.XYZ100S 线性度与重复度实测曲线
　　频率负载曲线

　　开 / 闭环曲线

　　技术参数
　　型号：N12.XYZ100S
　　运动自由度：X、Y、Z
　　行程范围（0~120V）：80μm/ 轴
　　行程范围（-20~150V）：110μm/ 轴
　　传感器类型：SGS
　　通孔尺寸：45×45mm
　　闭/开环分辨率：7nm
　　闭环线性度：0.15%F.S
　　闭环重复定位精度：0.1%F.S
　　俯仰/偏航 / 滚动：μrad
　　推/拉力：20N
　　运动方向刚度：X0.3/Y0.25/Z0.2N/μm
　　空载谐振频率：X200Hz/Y150Hz/Z120Hz
　　闭/开环空载阶跃时间：30ms/0.8ms
　　承载：0.5kg
　　静电容量：1.8μF
　　材质：钢、铝
　　重量：350g