北京韫茂量子科技：国产镀膜设备/磁控溅射镀膜机/粉体镀膜设备/电子束蒸发镀膜机厂家

北京韫茂量子科技股份有限公司是专业的国产镀膜设备/磁控溅射镀膜机/粉体镀膜设备/电子束蒸发镀膜机厂家。
北京韫茂量子科技股份有限公司2018年3月创立于厦门，2026年1月整体迁址北京市（厦门保留分公司），是国家专精特新“小巨人”、由斯坦福博士及硅谷装备海归团队牵头，先后获北京市级政府引导基金、制造基金等战略投资。
北京韫茂量子科技定位前沿纳米级薄膜沉积方案供应商，围绕ALD原子层沉积（热式/等离子体/粉末批次）、PVD磁控溅射与电子束蒸发、CVD（含MPCVD金刚石、流化床粉末CVD）、Epi碳化硅外延炉（SICE-Y8等）构建全栈装备矩阵，覆盖8/12寸晶圆级到百公斤级粉体量产机型，主攻锂电池粉体包覆、Mini/Micro LED与衍射光波导、碳化硅功率器件、集成电路、超导材料等高壁垒场景，其中工业级粉末ALD/CVD、300mm量产ALD/PVD集群系统、SiC外延CVD均为国产替代进口的代表性突破，客户横跨泛半导体、新能源、光显与科研院所。
北京韫茂量子科技官网：https://www.ym-qbt.com/，电话：15160710544。

北京韫茂QBT-P300 Cluster 超高真空磁控溅射集群系统

产品概况

具备超高真空背景环境，全自动操作，可在高温和常温下实现高质量钽膜生长，钽膜的Tc超过4.25 K，剩余电阻比大于6，用于制备低损耗超导电路，单光子品质因数超过100万，且对应的量子比特相干时间超过250μs。

技术优势

晶圆尺寸：**兼容12英寸，并向下兼容

进样腔极限真空：≤5E-9 Torr

溅射腔极限真空：≤5E-10 Torr

镀膜均匀性：<2%

IM腔刻蚀均匀性：1δ<5%

溅射沉积温度：0-900℃

手动放样，全自动传输

腔体采用316L不锈钢材质，电解抛光工艺

溅射腔体采用进口冷泵，极限真空≤3E-9Torr

全自动靶基距调整（60mm-140mm）