电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
项目级别 EW-I EW-II 电阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13 硅≤μg/l 210 >1μM微粒数≤个/ml 0.1 5细菌个数≤个/ml 0.01 0.1 铜≤μg/l 0.2 1锌≤μg/l 0.2 1镍≤μg/l 0.1 1钠≤μg/l 0.5 2钾≤μg/l 0.5 2氯≤μg/l 11硝酸根≤μg/l 11磷酸根≤μg/l 11硫酸根≤μg/l 11总有机碳≤μg/l 20 100
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