适于光纤对接调整的六自由度压电纳米定位台
01什么是六自由度
压电纳米定位台？
六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。运动如下图所示。（注：θx运动即为以X轴为中心轴的旋转运动。）
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02
六自由度压电定位台应用举例
-光纤对接调整
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03
芯明天六自由度
压电纳米定位台
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XD801-D1六自由度定位系统
（图左：E51.D7S压电控制器，图右：XD801-D1）
技术
参数
型号：XD801.S-D1闭环、XD801.K-D1开环
运动自由度：X、Y、Z、θx、θy、θz
XYZ行程范围：6µm@150V
θxθyθz轴偏转角度：1mrad@150V
传感器类型：SGS
闭/开环偏转分辨率：1/0.1μrad
闭/开环直线分辨率：2/0.2nm
闭环线性度：0.25%F.S.
闭环重复定位精度：0.2%F.S.
空载谐振频率：约250Hz
空载闭环阶跃时间：约25ms
承载能力：500g
材质：钢、铝
重量：660g
出线长：1.5m
传感/电压连接器：DB15-HD（针）
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