精测匠人 发表于 前天 13:32

小体积大负载压电物镜定位器

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  特性
  • 行程可达50μm
  • 承载能力500g
  • 毫秒级响应时间
  • 闭环重复定位精度高
  • 聚焦稳定性好
  大负载 高频响 高分辨率
  闭环阶跃时间
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  技术参数
  型号:P76.Z50S/KA
  运动自由度:Z
  行程范围(0~120V):40μm
  行程范围(0~150V):50μm
  闭环传感器类型:SGS
  闭/开环分辨率:5/2.5nm
  闭环线性度:0.05%F.S.
  闭环重复定位精度:0.02%F.S.
  推/拉力:35/10N
  运动方向刚度:0.8N/μm
  空载谐振频率:800Hz
  闭/开环空载阶跃时间:5/2ms
  承载能力:0.5kg
  静电容量:3.2μF
  材质:钢、铝
  重量:510g
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